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∴宫秀夫;∴本贡 地址 日本东京 概述 一种离子镀膜装置，在真空容器钟罩１１内，设置可将指定数量的蒸发材料１５供给至规定位置处的送料器３０、３１，同时，至少送料器３０、３１的滑板部３２、３３构造成可退避至蒸发物质的蒸发路径之外，无须打开门１８，即能可靠地将指定数量的蒸发材料１５供给到钟罩１１内规定的位置上，使送料器的滑板部３２、３３退避至蒸发物质的蒸发路径之外，从而防止蒸发物质被遮蔽，在被处理物上形成厚度与色调均匀的薄膜。 欢迎您访问中国树脂XLRESIN在线，如果 有888任何问题 请--发邮件至 507213 要害点 一种离子镀膜装置，利用蒸发源，使设置在真空容器内规定位置上的蒸发材料蒸发，同时，将蒸发物质离子化，使该蒸发物质或该蒸发物质与气氛气体反应生成的化合物附着在被处理物上，形成薄膜，其特征在于，在上述真空容器内，设置可将指定数量的蒸发材料供给至上述规定位置处的送料器，同时，该送料器中至少将蒸发材料引导至上述规定位置的滑板部构造成可退避到上述蒸发物质的蒸发路径之外。 |
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