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生产磁控溅射热弯镀膜玻璃的装置

日期:2008-07-28|人气:1|


发明人
鲍冠中
地址
277300山东省枣庄市峄城区裴山南路1号枣庄科诚玻璃有限公司
概述
一种生产磁控溅射热弯镀膜玻璃的装置,包括真空室和磁控溅射靶,真空室共有三个,分别为真空预抽室(1)、真空镀膜室(2)和过渡室(3),磁控溅射靶安装在真空镀膜室上盖(8)下面,磁控溅射靶包括:冷却水管(1),分入水管和出水管,分别与磁控溅射靶靶体的两端相通并焊接连接,靶体(19)内装有极靴(23)及磁铁(24),靶体下面固定安装有平面条形靶材(20),其特征在于:真空室玻璃出入口(4)高度为80mm~100mm,真空室高度400mm~480mm;磁控溅射靶为可调升降式结构,磁控溅射靶距输送辊的高度为100mm~160mm。本装置既可镀平面玻璃又可镀热弯玻璃,可防止两种玻璃出现色差。
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要害点
权利要求书1、一种生产磁控溅射热弯镀膜玻璃的装置,包括真空室和磁控溅射靶,真空室共有三个,均为卧式结构,按照玻璃输入方向排列分别为真空预抽室(1)、真空镀膜室(2)和过渡室(3),磁控溅射靶安装在真空镀膜室上盖(8)下面,磁控溅射靶包括:冷却水管(1),冷却水管分冷却水入水管和冷却水出水管,两个冷却水管管体分别与磁控溅射靶靶体的两端相通并焊接连接,靶体(19)内装有极靴(23)及磁铁(24),靶体下面固定安装有平面条形靶材(20),其特征在于:所述真空室玻璃出入口(4)高度为80mm~100mm,真空室高度400mm~480mm;所述磁控溅射靶距输送辊的高度为100mm~160mm。

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