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∴本贡;∴宫秀夫 地址 日本东京都 概述 一种电离镀装置，它被装配架６０的环形链６２、７２带着转动的多个夹具６１上分别安装被处理物１６，一次能在多个被处理物１６上形成薄膜。而且，由于该装配架６０可旋转地安装于钟罩１１内的固定台座６７上，并使其在薄膜形成的最佳旋转位置上旋转，就能在被处理物１６上形成均匀的薄膜。通过上述结构，维修时只要将该装配架６０旋转而不必从钟罩中取出就能进行操作。 要害点 一种由设置在真空容器内预定位置处的蒸发源使蒸发材料蒸发、同时使该蒸发物质离子化、并将该蒸发物质或该蒸发物质与四周气体反应的化合物附着于固定在装配架的被处理物上而形成薄膜的电离镀装置，其特征在于，在上述电离镀装置中，上述装配架由用于固定上述被处理物的夹具、使该夹具转动的环形链、及通过支持部件共同载置所述链和所述夹具的台座构成，同时，使上述环形链转动时，分别安装于上述夹具上的被处理物相对于上述蒸发源的位置顺次变化，并将上述台座安装在固定于上述真空容器内的部件上，并可沿真空容器的内周面旋转。 |
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